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氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的检漏仪器，由真空系统、氦气充填系统、气体采样系统、加热系统和数据处理系统组成。检测时，将被测物体置于真空室内，使其内部达到所需真空度后，使用氦气充填系统向被测物体外部充填氦气，并通过气体采样系统将被测物体周围环境中的氦气吸入系统内部。在采集过程中，加热系统会对被测物体进行加热处理，以促进任何潜在泄漏点的放大和释放氦气。采集到的氦气进入真空室内的质谱仪中进行分析，通过检测氦气分子的质量/电荷比，来确定被测物体是否存在泄漏。
1、准备工作
确保氦质谱检漏仪处于正常工作状态，检查设备各部件是否完好。
准备氦气瓶并连接到氦气充填系统。
打开检漏仪的电源，等待设备预热并达到工作状态。
2、设置参数
在控制面板或计算机软件上设置检测参数，如氦气流量、检测灵敏度等。
确保质谱仪的工作参数正确设置，如质谱范围、扫描速度等。
3、准备待检测系统
将待检测系统或容器放置在样品室中，并确保密封良好。
连接待检测系统与氦气充填系统，确保氦气可以进入系统内部。
4、开始检测
打开氦气充填系统，让氦气进入待检测系统。
启动质谱仪，开始检测待检测系统中的氦气浓度。
监控质谱仪显示的氦气浓度数据，寻找可能的泄漏点。
5、定位泄漏点
移动氦气检测探头，逐步对系统各部分进行检测。
当质谱仪显示氦气浓度升高时，表明可能存在泄漏点，需停止移动探头并进行确认。
6、确认泄漏点
确认泄漏点的位置后，可以使用其他方法进行修复，如密封漏点或更换损坏部件。
重新进行泄漏检测，确保泄漏问题已解决。
7、结束操作
关闭氦气充填系统和质谱仪，断开连接。
关闭氦气瓶，确保系统内氦气排空。
关闭检漏仪的电源，进行设备的清洁和维护工作。
8、记录和报告
记录检测过程中的参数设置、检测结果等信息。
根据检测结果生成检测报告，包括泄漏点位置、泄漏量等信息。
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