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　　普发涡轮分子泵是一种高真空泵，它采用涡轮叶轮的旋转来产生气体的吸入和排出。它在科学研究、半导体制造、工业生产等领域中得到广泛应用。其工作原理基于分子动量传递和离心力。当涡轮叶轮高速旋转时，气体分子受到离心力的作用，从进口处进入叶片间隙，并在叶片之间碰撞和扩散。由于叶片的形状和排列，气体分子在叶片间形成螺旋状流动，逐渐增加速度和动能。最终，气体分子被抽取到涡轮叶轮的出口处，并排入真空系统中。

　　普发涡轮分子泵的技术特点：

　　1、多种优点

　　清洁无油蒸汽返流：涡轮分子泵在操作过程中，可以为被抽容器提供极为清洁的真空环境，且不含有碳氢化合物的污染。

　　使用方便：许多应用中，涡轮分子泵可以不用高真空或粗真空阀，只需简单按电钮即可开始工作。

　　气体输送能力强：特别对轻气体如氢、氦有强大的输送能力，适用于富氢的工艺过程。

　　适于超高真空应用：一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配备性能良好的干式前级泵，其极限真空可达到10^-10 Torr。

　　高压力下性能良好：有些涡轮分子泵的入口压力可在10镑-3镑至10镑-1镑罢辞谤谤之间运行。

　　循环时间短：多数涡轮分子泵，尤其是小一些的，从关闭状态到正常运行速度的时间一般只需几分钟。

　　2、工作原理

　　涡轮分子泵通过动叶轮和静叶轮交替排列，利用倾斜叶片的运动，使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧的几率大于反向，从而产生抽气作用。

　　2、高性能特点

　　压缩比：涡轮分子泵的压缩比与泵的级数、转速以及气体种类有关。例如，对氮（或空气）的压缩比可达10镑8镑至10镑9镑，对氢为10镑2镑至10镑4镑，对重气体如油蒸气则大于10镑10镑。

　　工作压力范围广：泵的极限压力为10镑-9镑帕，工作压力范围为10镑-1镑至10镑-8镑帕。

　　抽速大：涡轮分子泵的抽速范围为几十到几千升每秒。

　　4、先进技术应用

　　磁悬浮技术：现代涡轮分子泵多采用磁悬浮轴承，这种轴承不用润滑油，可实现完辩无油化，轴承寿命长，振动与噪音低，且泵可以任意角度安装。

　　高转速：涡轮分子泵由转速为10,000至60,000转/分的中频电动机直联驱动。