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　　翱厂础碍础涡轮分子泵是一种高性能的真空泵，是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。其工作原理基于分子碰撞和动能传递的原理，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时，会被驱向出气口，再由前级泵抽除。

　　涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度，一般为150词400米/秒。单个叶轮的压缩比很小，因此涡轮分子泵通常由十多个动叶轮和静叶轮组成，动叶轮和静叶轮交替排列，几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。每两个动叶轮之间装一个静叶轮，静叶轮外缘用环固定，使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

　　翱厂础碍础涡轮分子泵的保养方法：

　　1、保持清洁

　　外壳清洁：经常保持分子泵外壳的清洁，防止灰尘和杂质积累。

　　进气口清洁：每次停机后，务必清洁各分子泵的进气口处，使其保持干净，以避免不必要的损坏。

　　2、检查油位和润滑油

　　油位检查：定期检查分子泵油位是否正常，确保油量处于油标上下限之间。

　　润滑油更换：分子泵工作4000小时以上或一年必须换油一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体，润滑油充注及更新时间间隔应缩短。

　　3、温度监控

　　温度检查：正常生产过程中须经常检查分子泵温度，听是否有异常震动和声音。

　　4、冷却系统维护

　　冷却水阀操作：在开分子泵前必须打开冷却水阀；在分子泵的叶轮停止运转后，必须关闭冷却水阀。

　　水路检查：当出现报警信息&濒诲辩耻辞;贰贵&谤诲辩耻辞;时，应检查冷却水路是否通畅，可用辩枪检查。确保水路顺畅后，方可再次打开分子泵。

　　5、避免冲击和振动

　　防护措施：分子泵是高旋转机械，动静片间间隙很小，不能抗过大的冲击。应在分子泵入口装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

　　6、故障处理

　　常见故障排除：掌握涡轮分子泵系统的常见故障及排除方法，如在前级泵工作时和真空室处于真空状态时不能将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。